首台先进封装光刻机投用 获*发明专利授权22项

7月16日，*科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目有了新进展。由上海微电子装备有限公司生产的首台先进封装光刻机，正式销售利授权22项，申请国际发明专利3项。在半年多的试运行期间，江阴长电利用该设备已成功完成*一批8英寸“重新布线及凸点工艺”产品的多层光刻生产任务。